APHA-kód | P21945 |
Szerzők | Simon A.,  Sulyok A.,  Novák M.,  Juhász G.,  Lohner T.,  Fried M.,  Barna A.,  Huszánk R.,  Menyhárd M. |
Cím | Investigation of an ion-milled Si/Cr multilayer using micro-RBS, ellipsometry and AES depth profiling techniques. |
Megjelenés helye | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 267 (2009) 2212 |
Impakt faktor | 1.156 |
Megnézem | DOI Hivatkozások (2) |