APHA-code P21945
Authors Simon A.,  Sulyok A.,  Novák M.,  Juhász G.,  Lohner T.,  Fried M.,  Barna A.,  Huszánk R.,  Menyhárd M.
Title Investigation of an ion-milled Si/Cr multilayer using micro-RBS, ellipsometry and AES depth profiling techniques.
Megjelenés helye Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 267 (2009) 2212
Impact factor 1.156
Megnézem DOI   Hivatkozások (2)