Atommagkutató Intézet
MTA Kiváló Kutatóhely

Publikáció

APHA-kód P22862
Szerzők Fekete Z.,  Sinkovics B.,  Rajta I.,  Gál G. A. B.,  Fürjes P.
Cím Characterization of the end-of-range geometric effects in complex 3D silicon micro-componenets formed by proton beam writing.
Megjelenés helye Journal of Micromechanics and Microengineering 20 (2010) 4015
Impakt faktor 2.276
Megnézem DOI   Hivatkozások (2)