Magyar
| APHA-kód | P22862 |
| Szerzők | Fekete Z., Sinkovics B., Rajta I., Gál G. A. B., Fürjes P. |
| Cím | Characterization of the end-of-range geometric effects in complex 3D silicon micro-componenets formed by proton beam writing. |
| Megjelenés helye | Journal of Micromechanics and Microengineering 20 (2010) 4015 |
| Impakt faktor | 2.276 |
| Megnézem | DOI Hivatkozások (2) |
