APHA-kód | P22107 |
Szerzők | Lakatos A.,  Csik A.,  Langer G. A.,  Erdélyi Z.,  Katona G. L.,  Daróczi L.,  Vad K.,  Tóth J.,  Beke D. L. |
Cím | Investigations of failure mechanisms at Ta and TaO diffusion barriers by secondary neutral mass spectrometry. |
Megjelenés helye | Vacuum 84 (2010) 130 |
Impakt faktor | 1.048 |
Megnézem | DOI Hivatkozások (10) |