Magyar
| APHA-kód | P22107 |
| Szerzők | Lakatos A., Csik A., Langer G. A., Erdélyi Z., Katona G. L., Daróczi L., Vad K., Tóth J., Beke D. L. |
| Cím | Investigations of failure mechanisms at Ta and TaO diffusion barriers by secondary neutral mass spectrometry. |
| Megjelenés helye | Vacuum 84 (2010) 130 |
| Impakt faktor | 1.048 |
| Megnézem | DOI Hivatkozások (10) |
