Atommagkutató Intézet
MTA Kiváló Kutatóhely

Mikromechanikus alkatrészek, mikrofluidikai és mikro-optikai eszközök előállítása

Kompetencia terület Plasma and ion-beam technologies
Módszer Protonnyalábos mikromegmunkálás
Kapcsolattartó
Szakmai leírás

MeV energy protons can be focused down to micrometer lateral resolution in the scanning ion microprobe facility. Proton Beam Writing (PBW) is a 3-dimensional direct write lithography method.

 

Download further information: