Nanométeres vastagságú vékonyfilmekben és filmszerkezetekben termikusan, elektromosan vagy optikailag előidézett felületi és felületközeli atomi mozgásokat vizsgálunk viszonylag alacsony hőmérsékleteken (300-500 K). Ismert, hogy felületi rétegekben végbemenő atomi mozgási folyamatok jelentősen módosítják a nanoskálájú rendszerek fizikai paramétereit, mely a modern elektronikai iparban különösen fontos. Különféle fém- és oxidrétegeket készítünk fizikai és kémiai módszerekkel, vizsgálatukra nanométeres felbontású mélységprofil-analízist, elektronspektroszkópiai módszereket, valamint a felületi atomi mozgások és töltéseloszlások tanulmányozására alkalmas pásztázó tűszondás mikroszkópot alkalmazunk.