Magyar Tudományos Akadémia
Atommagkutató Intézet

Magnetronos porlasztó

Kategória Műszer
Szervezeti egység
Eszközfelelős
Üzembentartó MTA Atomki - Debreceni Egyetem
Felhasználás Kutatás, Szolgáltatás, Fejlesztés
Érték Közepes értékű
Kivonat

Az ultravákuum kivitelű vákuumrendszerrel rendelkező magnetronos porlasztó berendezés néhány atomsor vastagságú, jó minőségű éles határfelületekkel rendelkező vékonyrétegek vagy  multirétegek előállítását tetszi lehetővé. Főbb kutatási területünk a fém, félvezető vagy szigetelő anyagokból készült rétegek/multirétegek termikus stabilitásának, a végbemenő diffúziós keveredések és szilárdtest reakciók vizsgálata.

Leírás

Az ultravákuum kivitelű vákuumrendszerrel rendelkező magnetronos porlasztó berendezés néhány atomsor vastagságú, jó minőségű éles határfelületekkel rendelkező vékonyrétegek vagy multirétegek előállítását tetszi lehetővé. Főbb kutatási területünk a fém, félvezető vagy szigetelő anyagokból készült rétegek/multirétegek termikus stabilitásának, a végbemenő diffúziós keveredések és szilárdtest reakciók vizsgálata.