Magyar
| APHA-kód | P14893 |
| Szerzők | Bettiol A. A., Rajta I., Teo E. J., van Kan J. A., Watt F. |
| Cím | Proton beam micromachining: electron emission from SU-8 resist during ion beam irradiation. |
| Megjelenés helye | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 190 (2002) 154 |
| Impakt faktor | 1.158 |
| Megnézem | DOI Hivatkozások (7) |
