APHA-kód | P14893 |
Szerzők | Bettiol A. A.,  Rajta I.,  Teo E. J.,  van Kan J. A.,  Watt F. |
Cím | Proton beam micromachining: electron emission from SU-8 resist during ion beam irradiation. |
Megjelenés helye | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 190 (2002) 154 |
Impakt faktor | 1.158 |
Megnézem | DOI Hivatkozások (7) |
![](https://iker.atomki.hu/wp-content/uploads/sites/2/2018/05/infoblokk_kedv_final_RGB_ERFA.png)