Mikro-megmunkálás protonnyalábbal
Előrejelzések alapján arra lehet számítani, hogy a közeljövőben a mikroelektronikához hasonló robbanásszerű fejlődés következik be a mikro-elektromechanikai rendszerek (MEMS) területén.
Ilyen eszközök létrehozására lehet alkalmas a pro-tonnyalábbal történő mikro-megmunkálás (PBW), amellyel az MTA Atommagkutató Intézetének szakemberei is szép eredményeket értek el: a budapesti Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet munkatársaival együttműködve a vilá-gon elsőként sikerült mozgó alkatrészt tartalmazó szilícium eszközt létrehozniuk e módszerrel. A miniatűr gép egy mikroturbina, amely folyadékkal és gázokkal is működtethető. A PBW során különböző anyagokat sugároznak be egy speciális készülékben előállított protonnyalábbal, majd a struktúrát kémiai eljárások segítségével hívják elő: a radiációval megjelölt területet kioldják az anyagból, vagy az úgynevezett negatív eljárás során a kialakított „gödröket” más anyagokkal töltik fel. Ezzel a módszerrel szilíciumban is lehetséges mikroszerkezeteket létrehozni. A PWB nyalábméret világrekordja jelenleg 20 nanométeres miniatűr megmunkálás, ami a ma általában alkalmazott MEMS technikákkal elérhető méret ötezred ré-sze!
Az Atommagkutatóban nem a legkisebb méret elérésére törekszenek, ahhoz ugyanis túl nagy beruházásra lenne szükség. „Sokkal inkább, a már rendelkezésre álló eszközöket felhasználva, az alapkutatásainkhoz keresünk alkalmazási területeket” – tájékoztatta a Figyelőt Rajta István, a program vezetője. A Debrecenben használt eszközökkel 1-2 milliméteres objektumokat tudnak készíteni. A mikroturbina is ekkora. Ezt az eszközt pedig leginkább mikrolaborokban alkalmazhatják: ezekben minimális vegyszermennyiséggel lehet kísérleteket végrehajtani, ami egyrészt gyorsabbá teszi a folyamatokat, másrészt a drága és sokszor igen reagens vegyületekből kevesebbet kell felhasználni, ezért mérséklődik a környezet ter-helése és a kísérletek veszélyessége.
Forrás: http://www.fn.hu/hetilap/k_f/20081209/mikro_megmunkalas_protonnyalabbal/