Magyar Tudományos Akadémia
Atommagkutató Intézet

Mikromechanikus alkatrészek, mikrofluidikai és mikro-optikai eszközök előállítása

Kompetencia terület Plasma and ion-beam technologies
Módszer Protonnyalábos mikromegmunkálás
Kapcsolattartó
Szakmai leírás

Szakmai leírás